[发明专利]磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统

摘要

一种磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统，所述磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统包括电源、氮气源、氮气纯度检测仪、压力传感器、磷化氢发生器、磷化氢浓度检测仪、连接管路及控制阀、报警器和保护电路；所述氮气源出气口与磷化氢发生器进气口连接，可向磷化氢发生器内注入纯氮气，用于稀释磷化氢发生器产生的磷化氢气体的浓度。

主权项

1.一种磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统，其特征在于：所述磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统包括电源、磷化氢发生器、氮气源包括制氮机和高压氮气瓶或罐、连接管路、控制阀、压力传感器及报警器、氮气纯度检测仪及报警器、磷化氢气体浓度检测仪及报警器和保护电路；所述电源与氮气源、磷化氢发生器连接，用于提供电能；所述氮气源出气口与磷化氢发生器进气口连接，可向磷化氢发生器内注入纯氮气，用于稀释磷化氢发生器产生的磷化氢气体的浓度；所述压力传感器及报警器与制氮机的氮气储气罐连接，用于检测氮气储气罐内的压力值；所述氮气纯度检测仪及报警器与氮气源的出口管路连接，用于检测氮气的浓度值；所述磷化氢浓度检测仪及报警器与磷化氢发生器的出口管路连接，用于检测磷化氢气体的浓度值；所述连接管路及控制阀与氮气源、磷化氢发生器、氮气纯度检测仪及报警器、磷化氢浓度检测仪及报警器和环流熏蒸回路连接，构造氮气、磷化氢气体和环流熏蒸回路之间的气体通道；所述磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统运行过程中当制氮机的储气罐压力小于0.05Mpa时压力传感器的报警器将会报警，同时相关的保护电路使磷化氢发生器停止运行，待制氮机的储气罐压力大于0.05Mpa时，磷化氢发生器可以重新启动；当氮气源的气体纯度值低于98.5％时，氮气纯度检测仪的报警器将会报警，同时相关的保护电路使磷化氢发生器停止运行，待氮气的纯度值高于98.5％时，磷化氢发生器可以重新启动；当磷化氢发生器产生的磷化氢气体经纯氮气稀释后浓度值高于1.79％或26g/m³标准值时，磷化氢浓度检测仪的报警器将会报警，同时相关的保护电路使磷化氢发生器停止运行，待磷化氢发生器产生的磷化氢气体经纯氮气稀释后浓度值低于1.79％或26g/m³标准值时，磷化氢发生器可以重新启动；经纯氮气稀释后浓度值低于1.79％或26g/m³标准值的磷化氢气体经管路输送至环流熏蒸回路。