[发明专利]硅锭流水作业系统

摘要

本发明提供一种硅锭流水作业系统，包括：切方设备，用于对将硅锭进行切方作业以形成多个第一规格硅方体；截断设备，邻设于切方设备，用于对第一规格硅方体进行截断作业以形成第二规格硅方体；工件转移设备，设于切方设备及截断设备之间，用于将第一规格硅方体转移至截断设备。本发明硅锭流水作业系统，将在硅锭工序作业中连续的各个作业设备布置在一起，并通过工件转移设备来实现各个作业设备之间工件的自动化转移，节省了作业设备的占地空间，且能实现工件在各个作业设备间的快速、准确、有效的转移，大大提高了工件处理效率，减少了人为参与，降低了成本及降低了失误，提高了工件的成品率。

主权项

1.一种硅锭流水作业系统，包括：切方设备，用于对将一硅锭进行切方作业以形成多个第一规格硅方体；截断设备，邻设于所述切方设备，用于对所述第一规格硅方体进行头尾截断作业以形成第二规格硅方体；以及工件转移设备，设于所述切方设备及所述截断设备之间，用于将所述第一规格硅方体从所述切方设备转移至所述截断设备；以及硅棒储料设备，设于所述切方设备及所述截断设备之间，用于储存所述第一规格硅方体；所述切方设备包括：切方机座；硅锭承载台，设于所述切方机座上，用于承载硅锭横向置放；所述硅锭的切割面的切割宽度小于等于所述硅锭中其他面的至少二分之一的宽度；以及线切割单元，设于所述切方机座上；所述线切割单元中包括有形成切割线网的切割线；所述截断设备包括：截断设备座；硅棒承载机构，设于所述截断设备座上；所述硅棒承载机构包括互换位置的第一工位平台和第二工位平台，所述第一工位平台和所述第二工位平台上均设有用于承载所述第一规格硅方体的多个载盘；以及线切割机构，设于所述截断设备座上，包括用于切割所述第一规格硅方体的线切割单元；还包括：切方清洗设备，邻设于所述切方设备的输出端，用于对所述切方设备输出的所述第一规格硅方体进行清洗；所述工件转移设备配置有设于所述切方设备及所述切方清洗设备之间的第一机械手，用于将所述第一规格硅方体从所述切方设备转移至所述切方清洗设备；还包括：少子检测设备，位于所述切方设备和所述截断设备之间，用于对所述切方设备输出的所述第一规格硅方体进行检测；其特征在于，所述少子检测设备与所述截断设备之间设有硅棒储料设备，所述硅棒储料设备包括：料座；料支撑架，设于所述料座上；以及硅棒周转承载件，通过周转驱动机构架设于所述料支撑架上、用于承载所述第一规格硅方体。