[发明专利]一种波前传感器及波前像差的探测方法在审
| 申请号： | 201610348767.2 | 申请日： | 2016-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN106052885A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 王建立;陈璐;姚凯南 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种波前传感器及波前像差的探测方法，所述波前传感器包括第一汇聚部、第二汇聚部、六边形拼接微镜阵列和探测部；所述波前传感器采用所述六边形拼接微镜阵列替代现有技术中的角锥棱镜，利用反射所述入射光线的方法依次获得所述光瞳像，避免了当入射光线为白光时出现的色散问题，也不会由于角锥棱镜的棱边而带来衍射效应，从而降低了所述波前传感器的探测误差，提高了所述波前传感器的探测精度。另外，所述探测部所需面积较小，不仅降低了所述波前传感器的成本，而且提升了所述波前传感器的灵敏度，降低了读出时间。进一步的，所述六边形拼接微镜阵列为标准光学零件，其加工要求和成本要远远小于角锥棱镜的加工要求和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 波前像差 探测 方法 | ||
【主权项】：
一种波前传感器，其特征在于，包括：第一汇聚部、第二汇聚部、六边形拼接微镜阵列和探测部；其中，所述六边形拼接微镜阵列由三个可翻转的六边形微镜拼接构成，其拼接中心设置于所述第一汇聚部的焦点，用于反射经所述第一汇聚部汇聚的入射光线；所述第二汇聚部用于汇聚经所述六边形拼接微镜阵列反射的入射光线，使其成像于所述探测部表面，获得光瞳像；所述探测部用于探测所述光瞳像，获得所述入射光线的波前信息。
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