[发明专利]一种白光扫描干涉测量方法与系统

摘要

本发明涉及一种白光扫描干涉测量方法与系统，所述系统包括白光扫描模块、定标模块、固定平板、以及压电陶瓷微位移平台。所述白光扫描模块包括白光光源；柯勒照明系统；第一分束镜、第二分束镜；第一显微物镜和第二显微物镜；成像透镜及第一、第二、第三、第四、第五平面反射镜，以及第一单色黑白图像传感器。所述定标模块包括激光器、第二单色黑白图像传感器。所述系统及方法无需标定光源的中心波长，且计算精度不受干涉信号的包络形状影响，抗噪性能强，可以广泛应用于白光扫描干涉测量的信号处理中。

主权项

1.一种白光扫描干涉测量系统，其特征在于，所述系统包括白光扫描模块、定标模块、固定平板、以及压电陶瓷微位移平台，其中所述白光扫描模块包括：一个白光光源；一个柯勒照明系统；一个第一分束镜及一个第二分束镜，所述光源发出的光经过柯勒照明系统后进入第一分束镜并被分为物光和参考光；一个第一显微物镜和一个第二显微物镜；第一分束镜位于所述柯勒照明系统与第二显微物镜之间；一个成像透镜及第一、第二、第三、第四、第五平面反射镜；以及一个第一单色黑白图像传感器，所述参考光通过第一显微物镜入射在第一平面反射镜上，所述物光通过第二显微物镜入射在待测物体，物光和参考光反射后再各自通过第一、第二显微物镜，进而汇聚在第一分束镜后发生干涉，干涉图像经由成像透镜为第一单色黑白图像传感器所采集；其中所述定标模块包括：一个激光器；一个第二单色黑白图像传感器，所述激光器发出的激光经由第五、第四平面反射镜后入射到第二分束镜，由第二分束镜出射的激光经由第二平面反射镜、第三平面反射镜后发生干涉，其产生的干涉条纹由第二单色黑白图像传感器所采集；其中所述第二平面反射镜与待测物体通过所述固定平板用于固定待测物件；所述压电陶瓷微位移平台用于带动待测物体发生位移。