[发明专利]一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置

摘要

本发明公开了一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置，液刀包括具有至少一个喷液槽的液刀槽体，和与所述喷液槽一一对应的液刀芯体，其中：每一个所述液刀芯体安装于其对应的喷液槽内，且所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的两个侧壁之间配合形成一喷液口，所述液刀芯体具有一端伸入所述喷液口的喷嘴部，所述喷嘴部伸入所述喷液口的部分与两个侧壁之间分别形成一个喷液间隙，两个所述喷液间隙并行排列。上述液刀作业时通过至少一个喷液槽作业，即至少有两个喷液间隙同时作业，两个并行排列的喷液间隙在沿喷液间隙的长度方向上的同一位置上发生堵塞的几率较小，能够提高显影液清洗装置对玻璃基板表面清洗的效果，提高产品良率。

主权项

1.一种用于显影液清洗装置的液刀，其特征在于，包括具有至少一个喷液槽的液刀槽体，和与所述喷液槽一一对应的液刀芯体，其中：每一个所述液刀芯体安装于其对应的喷液槽内，且所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的两个侧壁之间配合形成一喷液口，所述液刀芯体具有一端伸入所述喷液口的喷嘴部，所述喷嘴部伸入所述喷液口的部分与两个侧壁之间分别形成一个喷液间隙，两个所述喷液间隙并行排列；所述液刀槽体还具有位于所述液刀芯体背离其喷嘴部一侧的盖板，所述喷液槽的侧壁背离喷液口的一端与所述盖板密封连接；所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的每一个所述侧壁具有一个朝向所述盖板的限位面，所述液刀芯体具有位于所述喷嘴部两侧、且与所述限位面相抵的多个支撑部，且所述液刀芯体朝向盖板的一面与盖板朝向液刀芯体的一面相抵；所述盖板设有进液孔，且沿所述液刀芯体的长度方向的任意相邻的两个支撑部之间形成一个连通所述进液孔与所述喷嘴部与所述支撑部、以及限位面之间空间的进液间隙。