[发明专利]一种光纤法珀高温压力传感器在审
| 申请号： | 201610317815.1 | 申请日： | 2016-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN105806543A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 贾平岗;熊继军;梁庭;洪应平;陈晓勇;房国成;梁昊;曹群 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光纤法珀高温压力传感器，包括传感头、光纤、玻璃管，所述传感头包括玻璃基底、单抛硅片和硅膜片，玻璃基底底面设有一空腔，单抛硅片安装在空腔内，且底面与硅膜片的上顶面相连，硅膜片下端设有一深腔，所述传感头为方形，所述玻璃基底顶面中部设有一圆形凸台，所述圆形凸台的中心处设有一通孔，所述玻璃管套接在光纤外，且玻璃管的一端插入通孔与传感器、光纤实现固接，确保腔体处于密封真空环境。本发明耐高温、成本低廉，结构微小，并具有光纤珐珀传感器精度高，抗电磁干扰等的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 高温 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种光纤法珀高温压力传感器，其特征在于，包括传感头、光纤(1)、玻璃管(2)，所述传感头包括玻璃基底(5)、单抛硅片(6)和硅膜片(7)，玻璃基底(5)底面设有一空腔，单抛硅片(6)安装在空腔内，且底面与硅膜片(7)的上顶面相连，硅膜片(7)下端设有一深腔，所述传感头为方形，所述玻璃基底(5)顶面中部设有一圆形凸台(4)，所述圆形凸台(4)的中心处设有一通孔，所述玻璃管(2)套接在光纤(1)外，且玻璃管(2)的一端插入通孔与传感器、光纤实现固接。
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