[发明专利]基板的制备方法有效
| 申请号： | 201610317737.5 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN106141918B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 松井晴信;原田大实;竹内正树 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B49/16 | 分类号： | B24B49/16;B24B37/10;B24B37/34;B24B55/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 何杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及基板的制备方法。本发明提出基板的制备方法、特别是合成石英玻璃的基板的制备方法，同时使基板表面免于致命性缺陷而没有采取任何大规模装置和精密抛光板，由此与用常规设施制备相比，进一步减少缺陷和改善收率。通过抛光制备基板的方法，包括如下步骤：将基板原料各自放入下抛光板上的载体中形成的加工孔中；使上抛光板接触所述基板原料的表面，所述基板原料的表面涂覆有冲击吸收液并且使所述下抛光板旋转；和使所述上抛光板和下抛光板旋转，所述基板原料的表面伴有抛光浆料。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 方法 | ||
【主权项】：
通过抛光制备基板的方法，包括如下步骤：将基板原料各自放入下抛光板上的载体中形成的加工孔中，使上抛光板与所述基板原料的表面接触，所述基板原料的表面涂覆有冲击吸收液并且使所述下抛光板旋转，和使所述上抛光板和所述下抛光板旋转，所述基板原料的表面伴有抛光浆料。
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