[发明专利]一种等离子高效刻蚀机在审
| 申请号： | 201610315819.6 | 申请日： | 2016-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN105845536A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 陈德榜 | 申请（专利权）人： | 温州海旭科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市经*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子高效刻蚀机，包括反应腔体和分子泵，反应腔体的顶端固定设有多个高压气体喷嘴，在反应腔体的底部设有分子泵，在反应腔体的内部设有静电吸附盘、吸附件以及多个气流调节装置，静电吸附盘两端通过吸附件活动安装在反应腔体的内壁，在静电吸附盘的上下端均设置有多个气流调节装置，本发明结构原理简单，采用多个气流调节装置，能够快速调节反应腔内的气流，确保刻蚀的均匀性，同时采用的高压气体喷嘴，能够均匀喷出高压气体，进一步提高刻蚀的均匀性，提高产品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 高效 刻蚀 | ||
【主权项】：
一种等离子高效刻蚀机, 包括反应腔体（1）和分子泵（2），其特征在于：所述反应腔体（1）的顶端固定设有多个高压气体喷嘴（3），在所述反应腔体（1）的底部设有分子泵（2），在所述反应腔体（1）的内部设有静电吸附盘（4）、吸附件（5）以及多个气流调节装置（6），所述静电吸附盘（4）两端通过吸附件（5）活动安装在反应腔体（1）的内壁，在所述静电吸附盘（4）的上下端均设置有多个气流调节装置（6）。
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