[发明专利]一种石英玻璃板的制备工艺

摘要

本发明公开了一种石英玻璃板的制备工艺，其步骤为：选取SiCl₄作为原料；用高频等离子发生器，通过感应线圈耦合灯具，使灯具内的气体电离产生等离子体，利用等离子体火焰对石英基体加热，SiCl₄气体分子由载流气体携带通过加料管喷射进入等离子火焰，在火焰内部高温作用下发生氧化反应生成SiO₂；反应生成的SiO₂分子在等离子体火焰内部成核并碰撞团聚，形成较大颗粒；团聚的SiO₂微粒在等离子体火焰内随高温的火焰气流到达边界层，SiO₂微粒穿越边界层抵达石英基体表面；穿过边界层的SiO₂微粒沉积在石英基体表面，形成沉积层；沉积在石英基体表面的SiO₂微粒在等离子火焰加热作用下熔融形成石英玻璃液；采用PCVD技术制备无宏观气泡的超纯石英玻璃，可达到全光谱通过的要求。

主权项

一种石英玻璃板的制备工艺，其特征在于，包括如下步骤：（1）选取原料：选取SiCl₄作为原料；（2）化学反应阶段：用高频等离子发生器，通过感应线圈耦合灯具，使灯具内的气体电离产生等离子体，利用等离子体火焰对石英基体加热，SiCl₄气体分子由载流气体携带通过加料管喷射进入等离子火焰，在火焰内部高温作用下发生氧化反应生成SiO₂；（3）质量传输阶段：反应生成的SiO₂分子在等离子体火焰内部成核并碰撞团聚，形成较大颗粒；（4）穿越边界层：团聚的SiO₂微粒在等离子体火焰内随高温的火焰气流到达边界层，SiO₂微粒穿越边界层抵达石英基体表面；（5）沉积阶段：穿过边界层的SiO₂微粒沉积在石英基体表面，形成沉积层；（6）熔融及气体解吸阶段：沉积在石英基体表面的SiO₂微粒在等离子火焰加热作用下熔融形成石英玻璃液；（7）成型。