[发明专利]一种聚合物基板与金属涂层之间粘结力的测量方法有效

专利信息
申请号: 201610286668.6 申请日: 2016-05-03
公开(公告)号: CN105842163B 公开(公告)日: 2018-10-09
发明(设计)人: 王清;郑旭;张睿;马立俊;张星远;杜文权 申请(专利权)人: 山东科技大学
主分类号: G01N19/04 分类号: G01N19/04
代理公司: 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人: 王连君
地址: 266590 山东省青*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种聚合物基板与金属涂层之间粘结力的测量方法,其在现有技术的基础上,通过采用带中心通孔的掩模板,将其水平放置在聚合物基板上,并在掩模板的上表面均匀涂抹上一层强力粘结胶;然后再沉积上金属涂层,并利用掩膜板厚度大于金属涂层厚度,使得在拉力测试装置施加拉力时,在界面处只会发生通孔下方金属涂层与聚合物之间的界面分离。巧妙地解决了现有技术所存在的“所检测到的金属涂层与聚合物之间的粘结力数值,实际上是真实的金属涂层与聚合物之间的粘结力与上述金属涂层边缘处断裂所产生内聚力的耗损值二者的合力”的技术问题。本发明测量结果真实、准确,具有普适性。
搜索关键词: 一种 聚合物 金属 涂层 之间 粘结 测量方法
【主权项】:
1.一种聚合物基板与金属涂层之间粘结力的测量方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步,将预先开设有一中心通孔的掩模板水平放置在聚合物基板上,并在掩模板的上表面均匀涂抹上一层强力粘结胶;然后,在聚合物基板的掩模板所在一侧的表面上沉积一层金属,形成金属涂层;上述金属涂层的厚度小于所述掩模板的厚度;第二步,在上述金属涂层上再涂上一层紫外光刻胶,使用紫外光照射至固化定型,制得待测板片;此时,待测板片上的紫外光刻胶层的上表面为一平面;第三步,将待测板片的紫外光刻胶一侧表面通过第一真空吸盘吸附在拉力测试装置的载物台上,另一侧表面通过带有挂钩的第二真空吸盘吸附住,并将第二真空吸盘的挂钩勾挂在拉力测试装置上;上述中心通孔的边界线全部处于上述第一真空吸盘所覆盖的区域内部;第四步,启动拉力测试装置,沿待测板片的垂直方向上施加拉力,直至待测板片的金属涂层与聚合物基板结合面分离;与此同时,记录拉力测试装置的读数F0;并按下式计算得到金属涂层与聚合物基板之间的粘结力F:F=F0-(G1+G2);上式中:G1为聚合物基板的重量,G2为第二真空吸盘的重量。
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