[发明专利]玻璃溅射单元在审
| 申请号： | 201610268676.8 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN105925943A | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 金海涛;薛辉;昌江;任俊春 | 申请（专利权）人： | 芜湖真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种玻璃溅射单元，其中，所述玻璃溅射单元包括运输仓，所述运输仓内设置有运输机构，所述运输仓的上表面沿所述运输机构的传送方向顺次设置有第一泵吸单元、溅射单元和第二泵吸单元，所述运输机构上放置有镀膜玻璃，所述第一泵吸单元通过第一阀门机构与所述溅射单元连通，所述第二泵吸单元通过第二阀门机构与所述溅射单元连通，所述第二泵吸单元还通过第三阀门机构与所述运输仓连通。解决了普通的溅射单元中溅射设备和泵吸设备设置不当，导致玻璃镀膜时真空不完全，影响后续的镀膜质量的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 溅射 单元 | ||
【主权项】：
一种玻璃溅射单元，其特征在于，所述玻璃溅射单元包括运输仓，所述运输仓内设置有运输机构(6)，所述运输仓的上表面沿所述运输机构(6)的传送方向顺次设置有第一泵吸单元(1)、溅射单元(3)和第二泵吸单元(2)，所述运输机构(6)上放置有镀膜玻璃(5)，所述第一泵吸单元(1)通过第一阀门机构(41)与所述溅射单元(3)连通，所述第二泵吸单元(2)通过第二阀门机构(42)与所述溅射单元(3)连通，所述第二泵吸单元(2)还通过第三阀门机构(4)与所述运输仓连通。
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