[发明专利]一种安全环保高效的硅晶片清洗剂及其制备方法

摘要

本发明公开了一种安全环保高效的硅晶片清洗剂，其原料包括N‑甲基‑吡咯烷酮、无水碳酸钠、偏硅酸钠、Dynol604表面活性剂、Surfnol465表面活性剂、Surfnol104表面活性剂、低泡表面活性剂、脂肪醇聚氧乙烯醚、任基酚聚氧乙烯、二羟乙基‑三羟甲基亚胺甲烷、次氮基三乙酸、OP‑10、十二烷基苯磺酸钠、琥珀二辛酯磺酸钠、六氟戊二酮、β‑二酮、吐温80、三乙醇胺、季铵碱、二乙二醇单甲醚、乙二醇甲醚和去离子水。本发明还提出上述的安全环保高效的硅晶片清洗剂的制备方法。本发明的硅晶片清洗剂清洗效果好，安全性高，环保无污染。

主权项

一种安全环保高效的硅晶片清洗剂，其特征在于，其原料按重量份包括：N‑甲基‑吡咯烷酮3‑9份、无水碳酸钠2‑8份、偏硅酸钠3‑9份、Dynol604表面活性剂5‑8份、Surfnol465表面活性剂2‑6份、Surfnol104表面活性剂1‑4份、低泡表面活性剂2‑5份、脂肪醇聚氧乙烯醚1‑4份、任基酚聚氧乙烯1‑3份、二羟乙基‑三羟甲基亚胺甲烷2‑5份、次氮基三乙酸1‑3份、OP‑10 2‑5份、十二烷基苯磺酸钠4‑9份、琥珀二辛酯磺酸钠3‑9份、六氟戊二酮2‑7份、β‑二酮1‑4份、吐温80 4‑9份、三乙醇胺2‑5份、季铵碱2‑5份、二乙二醇单甲醚2‑5份、乙二醇甲醚1‑4份、去离子水10‑20份。