[发明专利]基于石墨烯-硫系玻璃平面波导型近中红外光调制器在审
申请号: | 201610264177.1 | 申请日: | 2016-04-26 |
公开(公告)号: | CN105700203A | 公开(公告)日: | 2016-06-22 |
发明(设计)人: | 陆荣国;叶胜威;田朝辉;刘天良;陈德军;张尚剑;刘永 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G02F1/035 | 分类号: | G02F1/035;G02B6/12 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 徐金琼 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于石墨烯‐硫系玻璃平面波导型近中红外光调制器,属于电光调制器技术领域,解决基于1.55~3μm近中红外的光学信号的集成光子器件调制和解调的难题。本发明包括基底层、设置在基底层上的脊形光波导层、第一支柱和第二支柱,在脊形光波导层上设置有第一石墨烯层和第二石墨烯层,第一石墨烯层延伸至第一支柱的上表面,第二石墨烯层延伸至第二支柱的上表面,在脊形光波导层与第一石墨烯层和第二石墨烯层、第一石墨烯层与第二石墨烯层、第一石墨烯层与第一支柱、第二石墨烯层与第二支柱之间分别设置有隔离介质层,第一支柱上的第一石墨烯层上设置有第一电极,第二支柱上的第二石墨烯层上设置有第二电极。本发明用于集成光子器件中的信号调制和解调。 | ||
搜索关键词: | 基于 石墨 玻璃 平面 波导 型近中 红外光 调制器 | ||
【主权项】:
一种基于石墨烯‐硫系玻璃平面波导型近中红外光调制器,其特征在于:包括基底层、设置在基底层上的脊形光波导层、第一支柱和第二支柱,第一支柱和第二支柱分别设置在脊形光波导层的两侧,在脊形光波导层上设置有第一石墨烯层和第二石墨烯层,第一石墨烯层延伸至第一支柱的上表面,第二石墨烯层延伸至第二支柱的上表面,在脊形光波导层与第一石墨烯层和第二石墨烯层、第一石墨烯层与第二石墨烯层、第一石墨烯层与第一支柱、第二石墨烯层与第二支柱之间分别设置有隔离介质层,第一支柱上的第一石墨烯层上设置有第一电极,第二支柱上的第二石墨烯层上设置有第二电极。
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