[发明专利]利用精密导轨刻划中阶梯光栅的直线度误差补偿方法

摘要

一种利用精密导轨刻划中阶梯光栅的直线度误差补偿方法，涉及光学器件技术领域，所解决的是无法利用精密导轨刻划中阶梯光栅的技术问题。该方法先测量出精密导轨的直线度累积误差数据，再根据测得的数据绘制出精密导轨直线度累积误差曲线，再根据精密导轨直线度累积误差曲线建立一个一次补偿方程；然后再根据一次补偿方程，测量以一次补偿函数为步进值的精密导轨所刻划出的中阶梯光栅的衍射波前数据，并根据测得的数据绘制出该中阶梯光栅的衍射波前曲线；然后再根据中阶梯光栅的衍射波前曲线，建立一个二次补偿方程；然后采用以二次补偿函数为步进值的精密导轨刻划中阶梯光栅成品。本发明提供的方法，刻划出的中阶梯光栅具有较好的衍射波面。

主权项

1.一种利用精密导轨刻划中阶梯光栅的直线度误差补偿方法，其特征在于，具体步骤如下：1)利用双频激光干涉仪，以中阶梯光栅的光栅常数为精密导轨测量的步进值，以每进给一个步进，测量一个实际移动位移量的方式，测量出精密导轨的直线度累积误差数据；2)根据测得的精密导轨直线度累积误差数据，绘制出精密导轨直线度累积误差曲线，并计算出精密导轨直线度累积误差曲线函数f累积；3)根据精密导轨直线度累积误差曲线建立一个一次补偿方程为：f1＝f理论-a×f累积；其中，f1为一次补偿函数，f理论为精密导轨的理论函数，a为精密导轨直线度误差补偿系数；4)以一次补偿函数f1近似于一次线性函数为原则，采用实验法得出精密导轨的一次补偿方程的误差补偿系数a；5)利用波面干涉仪，以一次补偿函数f1为步进值，测量以一次补偿函数f1为步进值的精密导轨所刻划出的中阶梯光栅的衍射波前数据，并根据测得的衍射波前数据绘制出该中阶梯光栅的衍射波前曲线，并计算出该中阶梯光栅的衍射波前曲线函数f波前；6)根据步骤5中的中阶梯光栅的衍射波前曲线，建立一个二次补偿方程为：f2＝f1-f波前，其中，f2为二次补偿函数；7)采用以二次补偿函数f2为步进值的精密导轨刻划中阶梯光栅成品。