[发明专利]涡轮分子泵有效
| 申请号： | 201610258601.1 | 申请日： | 2012-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN105952665B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 筒井·慎吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/58 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 涡轮分子泵包括：转子，形成有多段旋转翼与圆筒部；多段固定翼，相对于多段旋转翼而交替地配置；定子，相对于圆筒部隔着间隙而配置；多个隔片，层叠在固定有定子的基座上，且将多段固定翼定位；多个隔片中的配置在基座侧的至少一个隔片是由冷却介质所冷却的冷却隔片。冷却隔片具有隔片部和冷却部，其中隔片部与其他隔片一起层叠，冷却部形成有环状的沟，以收纳供冷却介质流通的冷却管。冷却管形成为环状并收纳在沟中，而且具有配置在冷却隔片侧边的大气侧的冷媒供给部及冷媒排出部。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
1.一种涡轮分子泵，其特征在于，包括：转子，形成有多段旋转翼与圆筒部；多段固定翼，相对于所述多段旋转翼而交替地配置；定子，相对于所述圆筒部隔着间隙而配置；多个隔片，层叠在固定有所述定子的基座上，且将所述多段固定翼定位；且所述多个隔片中的配置在基座侧的至少一个隔片是由冷却介质所冷却的冷却隔片，所述冷却隔片与所述基座隔热，具有隔片部和冷却部，其中所述隔片部与其他隔片一起层叠，所述冷却部形成有环状的沟，以收纳供冷却介质流通的冷却管，所述冷却管形成为环状并收纳在所述沟中，而且具有配置在所述冷却隔片侧边的大气侧的冷媒供给部及冷媒排出部。
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