[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201610251510.5 | 申请日： | 2016-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN105861992B | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 李奂钦 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀装置，包括：真空腔(11)、设于所述真空腔(11)内的蒸发源(12)、以及设于所述蒸发源(12)上方的坩埚切换装置(13)，其中，所述坩埚切换装置(13)包括：坩埚载盘(10)、设于所述坩埚载盘(10)上的多个坩埚(30)、以及设于所述坩埚载盘(10)底部与所述坩埚载盘(10)垂直相连的运动轴(20)，通过控制所述运动轴带动所述坩埚载盘旋转和升降运动实现在真空环境下完成蒸镀源上的坩埚切换，实现一个蒸镀源对应多个坩埚，从而增加坩埚载入的数量，减少蒸镀源的数量，延长开腔加料的周期，提高生产效率，降低设备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：真空腔(11)、设于所述真空腔(11)内的蒸发源(12)、以及设于所述蒸发源(12)上方的坩埚切换装置(13)；所述坩埚切换装置(13)包括：坩埚载盘(10)、设于所述坩埚载盘(10)上的多个坩埚(30)、以及设于所述坩埚载盘(10)底部与所述坩埚载盘(10)垂直相连的运动轴(20)；所述坩埚载盘(10)上设有多个通孔(50)，每一个通孔(50)内对应放置有一个坩埚(30)；所述运动轴(20)带动所述坩埚载盘(10)绕所述运动轴(20)的轴线旋转，使得坩埚载盘(10)上的坩埚(30)与蒸发源(12)对位，所述运动轴(20)带动所述坩埚载盘(10)沿所述运动轴(20)的轴向进行上升或下降，使得坩埚(30)与蒸发源(12)分离或将坩埚(30)放入蒸发源(12)内；所述运动轴(20)包括：旋转轴(21)、以及套设于所述旋转轴(21)内的升降轴(22)；所述坩埚(30)的顶部直径大于所述坩埚(30)的底部直径，所述通孔(50)的直径大于所述坩埚(30)的底部直径且小于所述坩埚(30)的顶部直径；所述坩埚载盘(10)的形状为圆形，所述多个通孔(50)均匀分布于一所述坩埚载盘(10)的同心圆的圆周上，所述运动轴(20)设于所述坩埚载盘(10)的底部的中心点。
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