[发明专利]微流体装置的制造方法、微流体装置及微流体装置制造用感光性树脂组合物在审
| 申请号： | 201610246881.4 | 申请日： | 2016-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN106066575A | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 西村功;星子贤二;金子将寛 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 彭雪瑞;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种微流体装置的制造方法、微流体装置及微流体装置制造用感光性树脂组合物，制造方法包括：由感光性树脂组合物在支撑体上形成树脂层的工序，感光性树脂组合物含有具有至少两个自由基聚合性基的化合物、光自由基产生剂、具有至少两个阳离子反应性基的化合物、光阳离子产生剂以及选自具有保护基的胺、光降解性碱、具有酰亚胺结构的化合物、具有酰胺结构的化合物及具有脲结构的化合物中的至少一种化合物；对树脂层的一部分进行紫外线曝光及显影的工序；在显影后的树脂层上载置覆盖材料而获得层压体的工序；及对所得的层压体进行紫外线曝光的工序。由于光刻后的经图案化的树脂层具有充分的强度与粘性，从而使微流体装置具有良好的流路。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 装置 制造 方法 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
一种微流体装置的制造方法，其特征在于，包括：工序1，由感光性树脂组合物在支撑体上形成树脂层，所述感光性树脂组合物含有具有至少两个自由基聚合性基的化合物、光自由基产生剂、具有至少两个阳离子反应性基的化合物、光阳离子产生剂以及选自具有保护基的胺、光降解性碱、具有酰亚胺结构的化合物、具有酰胺结构的化合物及具有脲结构的化合物中的至少一种化合物；工序2，对所述树脂层的一部分进行紫外线曝光及显影；工序3，在显影后的树脂层上载置覆盖材料而获得层压体；及工序4，对所得的层压体进行紫外线曝光。
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