[发明专利]MEMS器件和制造MEMS器件的方法有效
| 申请号： | 201610246028.2 | 申请日： | 2014-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN105692543B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | A.德赫 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;刘春元 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS器件和制造MEMS器件的方法。公开了具有刚性背板的MEMS器件和制作具有刚性背板的MEMS器件的方法。在一个实施例中，器件包括衬底和由衬底支撑的背板。背板包括细长的突起。 | ||
| 搜索关键词： | 刚性背板 背板 衬底支撑 突起 衬底 制造 制作 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造MEMS结构的方法，所述方法包括：在衬底上形成薄膜；在所述薄膜上形成牺牲层；在牺牲层中形成凹部，凹部包括第一类型的凹部和第二类型的凹部，第一类型的凹部不同于第二类型的凹部；用导电材料填充第一和第二类型的凹部；移除衬底在导电材料下方的部分；以及移除牺牲层；其中所述薄膜具有与牺牲层中的凹部对应的基本平坦部分。
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