[发明专利]一种旋转阴极磁棒装置在审
| 申请号： | 201610237800.4 | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105714261A | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 杨宏斌;冷庆吉 | 申请（专利权）人： | 河北物华天宝镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 叶树明 |
| 地址： | 065000 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转阴极磁棒装置，高强磁铁与磁铁背板用胶粘接，高强磁铁均匀分布在磁铁背板上；磁铁背板通过支撑脚与主轴通过螺栓连接，且连接处设置若干调节垫片调节磁场强度，磁铁背板边部安装导向轮支撑磁棒在旋转阴极内部保持中间位置同时也方便磁棒装入旋转阴极时对旋转阴极接口密封面的保护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 阴极 装置 | ||
【主权项】：
一种旋转阴极磁棒装置，其特征在于，包括主轴、支撑脚、调节垫片、磁铁背板、高强磁铁五个部分；所述高强磁铁与所述磁铁背板用胶粘接，所述高强磁铁均匀分布在所述磁铁背板上；所述磁铁背板通过所述支撑脚与所述主轴通过螺栓连接，且连接处设置若干调节垫片调节磁场强度，所述磁铁背板边部安装导向轮支撑磁棒在旋转阴极内部保持中间位置同时也方便磁棒装入旋转阴极时对旋转阴极接口密封面的保护。
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