[发明专利]一种钽酸锂单晶生长设备在审
| 申请号： | 201610223524.6 | 申请日： | 2016-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN105696068A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 徐国忠;王斌;仇如成 | 申请（专利权）人： | 盐城市振弘电子材料厂 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B29/30;C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 224021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钽酸锂单晶生长设备，它包括：生长炉，生长炉包括炉体、对应安装在所述炉体上的炉门、设置在炉门上的观察窗、安装在炉门下部且与所述炉体相连通的进水管、安装在炉门上部且与所述炉体相连通的出水管以及设置在所述炉体上且与其相连通的进气口；进气机构，所述进气机构包括导气至所述进气口内的进气管道、与所述进气管道相连接的流量阀以及安装在所述进气管道上的四通阀；提拉组件，提拉组件包括设置在所述炉体顶部的支撑架、可上下升降地安装在所述支撑架上的固定座、安装在所述固定座上且下端延伸至所述炉体内的籽晶杆以及安装在所述固定座上用于带动所述籽晶杆转动的第二电机。这样能够制得高纯度和高质量的钽酸锂单晶棒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钽酸锂单晶 生长 设备 | ||
【主权项】：
一种钽酸锂单晶生长设备，其特征在于，它包括：生长炉(1)，所述生长炉(1)包括炉体(11)、对应安装在所述炉体(11)上的炉门(12)、设置在所述炉门(12)上的观察窗(13)、安装在所述炉门(12)下部且与所述炉体(11)相连通的进水管(14)、安装在所述炉门(12)上部且与所述炉体(11)相连通的出水管(15)以及设置在所述炉体(11)上且与其相连通的进气口(16)；进气机构(2)，所述进气机构(2)包括导气至所述进气口(16)内的进气管道(22)、与所述进气管道(22)相连接的流量阀(21)以及安装在所述进气管道(22)上的四通阀(23)；提拉组件(3)，所述提拉组件(3)包括设置在所述炉体(11)顶部的支撑架(31)、可上下升降地安装在所述支撑架(31)上的固定座(33)、安装在所述固定座(33)上且下端延伸至所述炉体(11)内的籽晶杆(34)以及安装在所述固定座(33)上用于带动所述籽晶杆(34)转动的第二电机(36)。
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