[发明专利]一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法

摘要

本发明公开了一种炭/炭复合材料耐高温氧化涂层的制备方法，该方法通过以下技术方案实现：使用等离子体表面活化技术和双辉等离子表面冶金技术，先用氢等离子体刻蚀，活化炭/炭复合材料工件表面；然后以镍靶作为源极，在工件表面制备镍渗层；再以铬靶作为源极制备镍‑铬复合渗镀涂层，最后使用硅氧烷作为前驱体、氧气作为反应气体，在工件表面制备氧化铬和氧化硅的复合涂层。本发明制备的涂层与基体结合强度高，涂层成分呈梯度分布，能够提高炭/炭复合材料的耐高温氧化性能。涂层的制备在一种装置中完成，工艺简单、成本低。

主权项

1.一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法，其特征在于：使用等离子体表面活化技术和双辉等离子表面冶金技术，先用氢等离子体刻蚀，活化炭/炭复合材料工件表面，然后以镍靶作为源极，在工件表面制备镍渗层；再以铬靶作为源极制备镍-铬复合渗镀涂层，最后使用硅氧烷作为前驱体、氧气作为反应气体，在工件表面制备氧化铬和氧化硅的复合涂层，氧化铬、氧化硅、碳化铬和碳化硅同时沉积，能够与基体形成冶金结合，涂层制备结束后，停止硅氧烷和氢气通入，维持氩气和氧气通入，高温下碳化铬和碳化硅与氧反应生成氧化铬和氧化硅，至最后涂层中只有氧化铬和氧化硅存在，在工件表面制备氧化铬和氧化硅的复合涂层。