[发明专利]具有基层和抛光表面层的抛光垫有效
| 申请号： | 201610217648.3 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN105773400B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | W·C·阿里森;D·斯科特;P·A·勒菲弗;J·P·拉卡斯;A·W·辛普森 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/22;B24B37/24;B24B37/26;B24D18/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 殷玲;吴鹏 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了具有基层和抛光表面层的抛光垫。在实施例中，用于抛光衬底的抛光垫包括基层。抛光表面层与基层结合。还描述了用于制作具有与基层结合的抛光表面层的抛光垫的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 基层 抛光 表面 | ||
【主权项】：
1.一种制作用于抛光衬底的抛光垫的方法，所述方法包括：在成型模中提供基层和通过使一组可聚合的材料混合而形成的混合物；将所述成型模的盖的突起图案与所述混合物联接；并且，在所述突起图案与所述混合物联接的情况下，使所述混合物至少部分地固化以在所述基层上直接形成模制均质抛光表面层，所述模制均质抛光表面层包括与所述成型模的突起图案对应的槽图案，所述方法还包括：当固化程度足以维持所述模制均质抛光表面的几何形状但不足以使模制均质抛光表面层耐受机械应力时，从所述成型模的基部去除具有形成在其上的所述模制均质抛光表面层的所述基层。
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