[发明专利]绝对式光栅尺及其测量方法有效
| 申请号： | 201610213192.3 | 申请日： | 2016-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN105910631B | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 王晗;柴宁;陈新;陈新度;巫孟良;廖剑祥;黄明辉;李彬;韩锦;张芳健 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01D5/34 | 分类号： | G01D5/34 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人： | 胡辉,郑泽萍 |
| 地址： | 510006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了绝对式光栅尺及其测量方法，该绝对式光栅尺包括平行光源模块、标尺光栅、光电探测器和信号处理模块，标尺光栅上设有一基础轨道以及多个编码轨道，基础轨道包括一个与测量方向呈倾斜状态的光栅条纹，各编码轨道均包括多个均匀地呈周期排列且与测量方向呈倾斜状态的光栅条纹，且各编码轨道分别具有不同周期，平行光源模块发出的平行光束通过标尺光栅后照射到光电探测器上，光电探测器用于采集到达的光信号并转换为测量电信号后发送到信号处理模块，信号处理模块用于对测量电信号进行处理后解析获得多个编码轨道的测量值进而计算获得绝对位置测量值。本发明刻蚀难度低、降低了制造成本，而且测量准确度高，可广泛应用于光栅测量行业中。 | ||
| 搜索关键词： | 绝对 光栅尺 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
绝对式光栅尺，其特征在于，包括平行光源模块、标尺光栅、光电探测器和信号处理模块，所述标尺光栅上设有一基础轨道以及多个编码轨道，所述基础轨道包括一个与测量方向呈倾斜状态的光栅条纹，各所述编码轨道均包括多个均匀地呈周期排列且与测量方向呈倾斜状态的光栅条纹，且各编码轨道分别具有不同周期，所述平行光源模块发出的平行光束通过标尺光栅后照射到光电探测器上，所述光电探测器用于采集到达的光信号并转换为测量电信号后发送到信号处理模块，所述信号处理模块用于对测量电信号进行处理后解析获得多个编码轨道的测量值进而计算获得绝对位置测量值。
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