[发明专利]一种氧化铝的多晶坩埚及制备法在审

专利信息
申请号: 201610211448.7 申请日: 2016-04-07
公开(公告)号: CN107268074A 公开(公告)日: 2017-10-20
发明(设计)人: 张洪齐 申请(专利权)人: 罗万前
主分类号: C30B15/10 分类号: C30B15/10;C30B29/06;B28B1/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610067 四川省成都市*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种氧化铝的多晶坩埚及制备法,本坩埚由融熔成型的氧化铝多晶埚坯和C/C增強层组成;所述的C/C增強层包覆在前述埚坯的外表面上;埚坯在现有的电弧法石英玻璃坩埚制备机上制备而成。本埚坯耐熔融硅浸蚀,寿命长且减少晶体含氧量;而紧贴在一起的C/C增強层能有效的防止陶瓷突然碎裂而漏硅的问题。
搜索关键词: 一种 氧化铝 多晶 坩埚 制备
【主权项】:
一种氧化铝的多晶坩埚及制备方法,其特征在于:多晶埚坯制备方法为:所述的熔融的氧化硅多晶埚坯,利用现有的电弧法石英坩埚机制备;其步骤为:1、将氧化铝粉添加到坩埚机的石墨模具的模腔中;2、转动模具;3、人工用成型棒将转动模具中的氧化铝粉摊成所需形状;4、将电弧加热用的放电极移入模具的模腔中;5、电极通电,起弧;6、电弧发出的热辐射直接熔融氧化铝粉体;7、熔融的氧化铝在转动产生的离心力作用下,紧贴模腔壁;8、氧化铝粉体完全熔融后,逐渐停弧;9、氧化铝融熔体完全凝固后,模具停止转动;10、冷却后,从模腔中取出氧化铝埚坯;11、对埚坯退火,机械整形。
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