[发明专利]一种用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定的方法

摘要

本发明涉及一种用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定的方法，具体步骤如下：（1）将用于蓝宝石晶体生长的红外测温的设备结构安装好，并正对测温孔，在炉体外部安装好红外测温仪；（2）将炉内热场温度升温直至所述的信号管内的高熔点氧化物固体材料熔化；熔化后的高熔点氧化物熔液流出与石墨或炭炭材料接触反应，生成的碳粉尘、金属粉尘、碳化物和碳氧化物以烟雾的形式游离出来，层积在观察窗口表面；（3）当操作人员可明显观察到观察窗口的可见度下降，记录红外测温仪的实测温度，与氧化物固体的熔点温度，对照完成测温仪温度的标定。本发明的优点在于：本发明采用专用的设备结构进行标定，能够实现工艺稳定性。

主权项

1.一种用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定的方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：（1）安装用于蓝宝石晶体生长的红外测温的设备结构，该设备结构包括一炉体，在所述炉体内腔的中心处设置一坩埚，在坩埚的两侧对称设有置于炉体内腔的观测加热器和测温加热器；在靠近观测加热器一侧的炉体侧壁上设有一观察窗口，所述观察窗口还连通一观察孔，且观察孔与炉体内腔相连通；在靠近测温加热器一侧的炉体侧壁上设有一测温窗口，所述测温窗口还连通一测温孔，且测温孔与炉体内腔相连通；所述观察窗口与测温窗口呈对称设置，观察孔与测温孔也呈对称设置，且所述测温窗口与红外测温仪相对设置，在所述观察孔内部还放置有一石墨或炭炭材料加工的信号管，所述信号管一端封闭，一端开口，形成一U型结构，封闭端深入到炉体内腔需要被标定温度的位置，开口端与观察窗口靠近；且所述封闭端底部放置有高熔点氧化物固体，所述高熔点氧化物固体由至少一层耐高温金属材料包裹物包裹；（2）用于蓝宝石晶体生长的红外测温的设备结构安装好后，并正对测温孔，在炉体外部安装好红外测温仪；（3）将炉内热场温度升温直至所述的信号管内的高熔点氧化物固体材料熔化；熔化后的高熔点氧化物熔液流出与石墨或炭炭材料接触反应，生成的碳粉尘、金属粉尘、碳化物和碳氧化物以烟雾的形式游离出来，层积在观察窗口表面；（4）当操作人员可明显观察到观察窗口的可见度下降，记录红外测温仪的实测温度，与氧化物固体的熔点温度，对照完成测温仪温度的标定;所述步骤（1）中的高熔点氧化物固体为蓝宝石晶体;所述步骤（1）中的耐高温金属材料包裹物外面还包括有至少一层石墨包裹物;所述的石墨包裹物为高纯石墨纸。