[发明专利]极化敏感的高效超导纳米线单光子探测器及其设计方法在审
申请号: | 201610208024.5 | 申请日: | 2016-04-05 |
公开(公告)号: | CN105870315A | 公开(公告)日: | 2016-08-17 |
发明(设计)人: | 金彪兵;杨萌萌;朱广浩 | 申请(专利权)人: | 南京大学 |
主分类号: | H01L39/12 | 分类号: | H01L39/12;H01L39/14;G01J1/44;G06F17/50;B82Y20/00 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 杨林洁 |
地址: | 210093*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种极化敏感的高效超导纳米线单光子探测器,包括硅基底、金膜反射层、二氧化硅介质腔、NbN纳米线和耦合反对称分裂环谐振器,其中由下至上依次为所述硅基底、金膜反射层、二氧化硅介质腔以及耦合反对称分裂环谐振器,所述NbN纳米线位于二氧化硅介质腔内部,所述NbN纳米线包括多个周期排列的单元结构,所述耦合反对称分裂环谐振器呈周期排列。本发明还公开了一种上述探测器的设计方法。本发明结构简单、新颖,使用的超导材料NbN纳米线宽度大,占空比高,对近红外波的单光子探测效率高,计数速度快。 | ||
搜索关键词: | 极化 敏感 高效 导纳 米线 光子 探测器 及其 设计 方法 | ||
【主权项】:
一种极化敏感的高效超导纳米线单光子探测器,其特征在于,包括硅基底、金膜反射层、二氧化硅介质腔、NbN纳米线和耦合反对称分裂环谐振器,其中由下至上依次为所述硅基底、金膜反射层、二氧化硅介质腔以及耦合反对称分裂环谐振器,所述NbN纳米线位于二氧化硅介质腔内部,所述NbN纳米线包括多个周期排列的单元结构,所述耦合反对称分裂环谐振器呈周期排列。
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