[发明专利]光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机有效
| 申请号： | 201610205482.3 | 申请日： | 2016-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN105739248B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 倪明阳;华洋洋;于新峰;郭抗;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316 | 代理人： | 郝明琴 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学元件支撑结构，用于支撑单元镜组(21)的光学元件(22)，包括镜座(24)，所述镜座(24)为圆周对称的机械构件，所述镜座(24)的内环向镜座中心伸出支撑杆(246)，所述支撑杆(246)在光轴方向和镜座径向上均具有柔性，所述支撑杆(246)末端设置有支撑面(247)，所述支撑面(247)与光学元件(22)的下表面相互匹配，以将光学元件(22)固定在所述镜座(24)上；所述支撑杆(246)的内侧连接有一运动台(245)，所述运动台(245)通过一导向机构(243)与镜座(24)的外环连接，所述导向机构(243)用于运动台(245)的运动导向。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 支撑 结构 单元 曝光 光学系统 光刻 | ||
【主权项】：
一种光学元件支撑结构，用于支撑单元镜组(21)的光学元件(22)，其特征在于，包括镜座(24)，所述镜座(24)为圆周对称的机械构件，所述镜座(24)的内环向镜座中心伸出支撑杆(246)，所述支撑杆(246)在光轴方向和镜座径向上均具有柔性，所述支撑杆(246)末端设置有支撑面(247)，所述支撑面(247)与光学元件(22)的下表面相互匹配，以将光学元件(22)固定在所述镜座(24)上；所述支撑杆(246)的内侧连接有一运动台(245)，所述运动台(245)通过一导向机构(243)与镜座(24)的外环连接，所述导向机构(243)用于运动台(245)的运动导向；所述导向机构(243)与所述镜座(24)的外环连接形成有狭缝(244)，所述运动台(245)的运动范围通过所述狭缝(244)的宽度约束；所述支撑结构还包括多个驱动机构(23)，所述镜座(24)形成有多个沿镜座(24)径向延伸的定位孔(248)，所述定位孔(248)由镜座(24)外环表面延伸至与所述狭缝(244)相通，所述驱动机构(23)插入所述定位孔(248)中以此固定于镜座(24)中，所述驱动机构(23)末端与运动台(245)接触，所述驱动机构(23)末端能够输出一定位移和力，并传递至运动台(245)使之产生径向位移，所述支撑杆(246)与运动台(245)直接相连，所述运动台(245)所产生的径向位移可直接带动支撑杆(246)产生位移和变形，所述支撑杆(246)可将力和变形传递至光学元件(22)。
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