[发明专利]模具及其形成方法、图像传输结构的形成方法在审
| 申请号： | 201610192240.5 | 申请日： | 2016-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN107283691A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 朱虹;房伟;林崴平;凌严 | 申请（专利权）人： | 上海瑞艾立光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B29C33/38 | 分类号： | B29C33/38;H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种模具及其形成方法、图像传输结构的形成方法，所述模具的形成方法，包括提供基底；在所述基底表面形成具有开口的掩膜层；沿所述开口刻蚀基底，在基底内形成凹槽，所述凹槽底部与侧壁的连接处呈圆弧状；形成覆盖所述凹槽内部表面以及掩膜层的疏水性膜。上述方法形成的模具能够用于形成较小尺寸的透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 模具 及其 形成 方法 图像 传输 结构 | ||
【主权项】：
一种模具的形成方法，其特征在于，包括：提供基底；在所述基底表面形成具有开口的掩膜层；沿所述开口刻蚀基底，在基底内形成凹槽，所述凹槽底部与侧壁的连接处呈圆弧状；形成覆盖所述凹槽内部表面以及掩膜层的疏水性膜。
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