[发明专利]掩膜板清洗装置及清洗方法

摘要

本发明提供一种掩膜板清洗装置及清洗方法，该装置包括：载台移动导轨(10)、设于载台移动导轨(10)上的掩膜板载台(20)、架设于载台移动导轨(10)上方的检测部横梁(40)、架设于载台移动导轨(10)上方且与检测部横梁(40)平行间隔设置的清洗部横梁(50)、设于检测部横梁(40)上的检测部导轨(41)、悬挂于检测部导轨(41)底部的检测相机(42)、设于清洗部横梁(50)上的清洗部导轨(51)、悬挂于清洗部导轨(51)底部的清洗机构(60)、以及分别与清洗机构(60)、检测相机(42)、及掩膜板载台(20)电性连接的控制设备，能够有效清洗掩膜板上的局部顽固性脏污，提升掩膜板的清洗效率，提高生产稼动率。

主权项

1.一种掩膜板清洗装置，其特征在于，包括：载台移动导轨(10)、设于所述载台移动导轨(10)上的掩膜板载台(20)、架设于所述载台移动导轨(10)上方的检测部横梁(40)、架设于所述载台移动导轨(10)上方且与所述检测部横梁(40)平行间隔设置的清洗部横梁(50)、分别与所述检测部横梁(40)两端垂直相连的用于架设所述检测部横梁(40)的两检测部立柱(43)、分别与所述清洗部横梁(50)两端垂直相连的用于架设所述清洗部横梁(50)的两清洗部立柱(53)、设于所述检测部横梁(40)上的检测部导轨(41)、悬挂于所述检测部导轨(41)底部的检测相机(42)、设于所述清洗部横梁(50)上的清洗部导轨(51)、悬挂于所述清洗部导轨(51)底部的清洗机构(60)、以及分别与所述清洗机构(60)、检测相机(42)、及掩膜板载台(20)电性连接的控制设备；所述检测部导轨(41)与所述清洗部导轨(51)平行，所述检测部导轨(41)与所述载台移动导轨(10)垂直；所述掩膜板载台(20)用于放置掩膜板(30)，通过所述检测相机(42)沿所述检测部导轨(41)滑动配合所述掩膜板载台(20)沿所述载台移动导轨(10)滑动，确定掩膜板(30)的污染位置；通过所述清洗机构(60)沿所述清洗部导轨(51)滑动、所述掩膜板载台(20)沿所述载台移动导轨(10)滑动、结合所述清洗机构(60)沿竖直方向的升降，对所述掩膜板(30)的污染位置进行局部清洗；所述清洗机构(60)包括：悬挂于所述清洗部导轨(51)底部的马达(61)、设于所述马达(61)下方的药液槽(63)、连接所述马达(61)与所述药液槽(63)的升降杆(62)、设于所述药液槽(63)下方的滴头(65)、设于所述滴头(65)上的电磁阀(66)、以及设于所述滴头(65)下方的转动无尘布(67)和测高传感器(64)。