[发明专利]一种等离子体机台的底座

摘要

本发明提供一种等离子体机台的底座，底座上具有座台本体，座台本体的表面具有用于支撑反应基材的支撑套筒，支撑套筒通过螺纹连接的方式固定在座台本体上。在对反应腔室进行清洗时，即使由于升降温造成支撑套筒与底座的膨胀收缩状态不一致，但螺纹连接的固定方式使得对于一般形变，支撑套筒较难脱离底座，也很难产生松动，即使支撑套筒产生了松动，支撑套筒与底座之间的螺纹配合也使得两者之间较难产生缝隙，能够防止等离子气体进入支撑套筒与底座之间的缝隙，避免了杂质的产生。由于支撑套筒与座台本体之间使用了螺纹连接，则座台本体底部无需再设置用于阻止支撑套筒向下滑动的支撑金属圆环，避免了在安装支撑金属圆环时对底座本体造成的破坏。

主权项

一种等离子体机台的底座，底座具有座台本体，座台本体的表面具有用于支撑反应基材的支撑套筒，其特征在于，支撑套筒通过螺纹连接的方式固定在座台本体上，所述座台本体上开设有螺纹孔，所述螺纹孔具有内螺纹，所述支撑套筒从上至下分为外露段、螺纹段和卡合段，所述外露段位于所述座台本体的表面，所述螺纹段具有与所述螺纹孔的内螺纹相匹配的外螺纹，所述螺纹段通过螺纹固定于所述螺纹孔内，所述座台本体具有位于所述螺纹孔下方的肩台，所述螺纹孔向下延伸至所述肩台，所述卡合段一端与所述螺纹段连接，另一端形成直径大于所述螺纹孔外径的凸圈，所述凸圈与所述肩台接触，所述肩台具有环状突起，所述环状突起的突起方向向下，所述凸圈与所述肩台接触之处具有与环状突起相匹配的环状凹陷。