[发明专利]一种双箱联动真空氦检漏系统与方法在审
申请号: | 201610168535.9 | 申请日: | 2016-03-22 |
公开(公告)号: | CN105806569A | 公开(公告)日: | 2016-07-27 |
发明(设计)人: | 解永强;祝付伟;钱远驰 | 申请(专利权)人: | 珠海许继电气有限公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 俞梁清 |
地址: | 519060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种双箱联动真空氦检漏系统,包括气站,还包括氦质谱检漏仪、抽空泵、氦气回收装置与两个真空箱,所述两个真空箱内均设置有待检工件,所述待检工件均通过入气管道与气站连接,所述待检工件均通过工件抽气管道与抽空泵连接,所述待检工件均通过充气管道与氦气回收装置连接,所述待检工件与真空箱间设置有联通管道,所述真空箱均通过箱体抽气管道与抽空泵连接,所述真空箱均与氦质谱检漏仪通过检测管道连接,所述真空箱上均设置有与大气联通的大气管道,每条管道上均设置有阀门;两个真空箱和待测工件错开进行检测,充分利用检测系统,效率有了大幅度的提高,有效缩短工时。 | ||
搜索关键词: | 一种 联动 真空 检漏 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种双箱联动真空氦检漏系统,包括气站(1),其特征在于:还包括氦质谱检漏仪(5)、抽空泵(6)、氦气回收装置(7)、第一真空箱(21)与第二真空箱(22),还包括有第一待检工件(31)与第二待检工件(32),所述第一待检工件(31)与第二待检工件(32)活动设置在所述第一真空箱(21)与第二真空箱(22)内,所述第一待检工件(31)与第二待检工件(32)均通过管道与气站、氦质谱检漏仪(5)、抽空泵(6)、氦气回收装置(7)连接,所述第一待检工件(31)通过第一联通管道与第一真空箱(2)连接,所述第二待检工件(32)通过第二联通管道与第二真空箱(22)连接,所述第一真空箱(21)与第二真空箱(22)均通过管道与氦质谱检漏仪(5)和抽空泵(6)连接,所述第一真空箱(21)与第二真空箱(22)上分别设置有与大气联通的第一大气管道与第二大气管道。
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