[发明专利]一种用于真空镀的可控、活动遮盖装置在审
| 申请号： | 201610157718.0 | 申请日： | 2016-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN105755444A | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 黄初镇 | 申请（专利权）人： | 黄初镇 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510535 广东省广州市萝岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空镀的可控、活动遮盖装置，包括遮盖部分、控制部分、储存仓和基座。该发明（1）简化了包括MLCC生产在内的真空镀工艺流程，起到缩短其生产周期，提高产生效率，节约生产成本的作用，符合环保要求。（2）使一些用传统方法做不到的工艺成为可能，具有一定的创新性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 可控 活动 遮盖 装置 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀的可控、活动遮盖装置，包括位于被镀工件与真空镀源之间的可控活动遮盖物、用于控制遮盖物动作的控制装置、储存备用遮盖物的储存仓、放置被镀工件的基座，其特征在于：所述遮盖物在真空镀制过程中是活动的、可控的。
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