[发明专利]半导体激光器腔面镀膜夹具

摘要

半导体激光器腔面镀膜夹具，该夹具为一种倾斜固定激光器Bar条的特殊镀膜夹具，该夹具是由底板、中板、盖板、滑块、Bar条组成；采用带斜面的滑块是实现激光器Bar条倾斜安装固定的关键，当完成激光器一面镀膜后，进行另一面腔面镀膜前，需要将激光器Bar条沿另一方向倾斜θ角，操作方法是将滑块B反面，并将半导体激光器Bar条顺滑块B斜面倾斜安装，然后卸盖板A，将滑块A反面，重新装上盖板A，固定激光器Bar条，最后完成另一面的镀膜。本发明采用将激光器Bar条倾斜固定的镀膜夹具的技术方案，有效解决了激光器腔面镀膜过程中的遮挡技术问题，也避免激光器Bar条的二次污染。

主权项

1.半导体激光器腔面镀膜夹具，该夹具为一种倾斜固定激光器Bar条的镀膜夹具，其特征在于：该夹具是由底板(1)、中板(2)、盖板(3)、滑块(4)、Bar条(5)组成；底板(1)与中板(2)接触面为光滑平面，底板(1)的中间开有长方形通孔，激光器的Bar条(5)与该长方形通孔相配合，并透过该长方形通孔镀制其所需光学膜，底板(1)中空部分边缘厚度为d1为0.5mm，该底板(1)作为镀膜夹具底部支撑板使用，底板(1)两边开有内螺纹通孔；中板(2)的两面均为光滑的金属板，中板(2)与底板(1)的尺寸相一致，中板(2)的中间掏空成长方形，长方形宽度w2比底板中空的长方形宽度w1宽0.5mm‑1.5mm，中板(2)的厚度与激光器的腔长一致以锁紧激光器的Bar条(5)，中板(2)的两边开有无内螺纹的通孔；盖板(3)和底板(1)的尺寸相一致，盖板(3)被分割成盖板A、盖板B两部分，盖板(3)中间开有中空的长方形金属板即为盖板B，盖板(3)的另外部分为盖板A，盖板A、盖板B相配合以便拆卸；另外在盖板B部分内空的两边对称开了长方形切口，以便于激光器的Bar条(5)拆装；盖板A两侧开有内陷螺帽的无内置螺纹通孔，以便将底板(1)、中板(2)、盖板(3)组装成一体，形成完整夹具，盖板(3)与底板(1)结合将激光器的Bar条(5)上下固定；盖板的通孔尺寸与底板的通孔尺寸一致，盖板A的长度L3比滑块（ 4） 长度L0长1‑3mm；滑块(4)一面的倾斜底角为θ，滑块(4)的宽度w2为中板(2)内的长方形宽度，滑块(4)需成对与中板(2)相配合，滑块(4)的斜面与激光器电极面相接触，每对滑块(4)中间固定有一组激光器的Bar条(5)；激光器的Bar条(5)是镀膜的主体，通过盖板(3)的内空边缘切口划入，通过对称的两个滑块(4)固定到镀膜夹具的内槽中，激光器Bar条能够根据需要依次平行排列，安装Bar条(5)的过程中，保证镀膜面的有源区部分没有遮挡地置露镀膜环境中。