[发明专利]一种基于几何光学的镜面出平面位移测量装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种基于几何光学的镜面出平面位移测量装置及其测量方法。本发明通过点照明系统提供光信息，光在两个镜面上的多次反射，利用图像采集设备获得带有镜面出平面位移信息的数字图像，更换目标镜，采集多张数字图像，可以通过对比分析这些数字图像上光点位置的变化，进而获得镜面的出平面位移。本发明提供一种新型的平面度监测装置，可以完成较高精度的平面度检测，具备全场检测、使用灵活方便且检测速度高的特点。

主权项

1.一种基于几何光学的镜面出平面位移测量装置，其特征在于：包括目标镜、监测镜、两个框架、相机、光学平台、两个拉杆、四个立柱、拉杆立柱连接件、框架连接件、立柱底座和计算机；四个立柱分别通过一个立柱底座安装在光学平台的四角上，两个拉杆位于光学平台上方的两侧，每个拉杆的两端分别通过一个拉杆立柱连接件与一个立柱连接，目标镜通过框架安装在两个拉杆之间，目标镜的框架两侧分别通过一个框架连接件与其对应的拉杆连接，监测镜通过框架安装在两个拉杆之间，监测镜的框架两侧分别通过一个框架连接件与其对应的拉杆连接，目标镜与监测镜为中心与中心相对，面与面平行，框架包括内框架和外框架，监测镜的内框架上安装有按正方形布置的点光源，相机安装在监测镜的外侧，相机镜头与监测镜镜面平行，相机通过数据线与计算机连接。