[发明专利]一种基于卷曲薄膜的光学氢气检测器及其制备方法

摘要

本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种基于卷曲薄膜的光学氢气检测器及其制备方法。本发明制备方法包括：在干净基片上光刻图形；沉积具有内应力的金属薄膜和氢气体积膨胀效应的金属薄膜；选择性腐蚀薄膜与基片间的牺牲层得到卷曲薄膜。本发明的光学氢气检测器利用通入氢气后薄膜卷曲的曲率半径增加或由卷曲形态转变为平展状态引起肉眼可见的颜色变化，实现对氢气的检测功能。本发明在检测过程中没有电流传输，更加安全，能够不附加能源及设备对氢气进行实时监测并将结果直观反映出来；制备方法较为简单，可适用于工业生产中，具有实际应用意义。

主权项

1.一种基于卷曲薄膜的光学氢气检测器的制备方法，其特征在于具体步骤如下：（1）清洗基片；（2）在基片上光刻图形；（3）使用薄膜沉积方法在基片上沉积具有内应力的金属薄膜；该金属薄膜材料为钛、铬、铁、钴、镍、铜、铝的单一组分，或是这些金属中的几种构成的多层金属薄膜；金属薄膜厚度为5‑200纳米；（4）使用薄膜沉积方法在基片上沉积具有氢气体积膨胀效应的金属薄膜；该金属薄膜材料为铂、钯的单一组分，或是含有这些金属组分的合金；金属薄膜厚度为5‑200纳米；（5）选择性腐蚀光刻胶得到卷曲薄膜；所述卷曲薄膜通入氢气后，微米管的直径增加或由卷曲形态转变为平展状态，由此引起肉眼可见的颜色变化，实现对氢气的检测功能。