[发明专利]具有底端连接的感测引脚的互连的电迁移测试有效
| 申请号： | 201610118349.4 | 申请日： | 2016-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN105938179B | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | F·陈;C·J·克里斯蒂安森;D·M·马西;P·佩里阿萨米;M·A·希诺斯基 | 申请（专利权）人： | 格罗方德半导体公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 英属开曼群*** | 国省代码： | 开曼群岛;KY |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种具有底端连接的感测引脚的互连的电迁移测试，其揭示一种用于电迁移测试的系统。该系统包括传导构件、位在该传导构件的顶端表面的一部分上方的由绝缘材料构成的覆盖层、传导性连接至该传导构件的第一端的阴极；传导性连接至该传导构件的第二端的阳极、以及传导性连接至该阴极与该阳极的电流源。多个感测引脚沿着介于该传导构件的第一端与第二端之间的传导构件的长度布置。所述感测引脚传导性连接至该传导构件的底端表面。至少一个测量装置传导性连接至该多个感测引脚的至少一个感测引脚。该至少一个测量装置测定该传导构件的至少一个部分的电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 底端 连接 引脚 互连 类似物 迁移 测试 | ||
【主权项】：
1.一种用于电迁移测试的系统，该系统包含：传导构件；位在该传导构件的顶端表面的至少一部分上方的由绝缘材料构成的覆盖层；传导性连接至该传导构件的第一端的阴极；传导性连接至该传导构件的第二端的阳极，其中，该传导构件传导性连接该阳极与该阴极；传导性连接至该阴极与阳极的电流源；其中，该电流源提供流经该传导构件的电流；沿着介于该传导构件的该第一端与该第二端之间的该传导构件的长度布置的多个感测引脚，所述感测引脚传导性连接至该传导构件的底端表面，其中，该多个感测引脚是与该传导构件的该底端表面整合并且延展自该传导构件的该底端表面的填充的贯孔；传导性连接至该多个感测引脚的至少一个感测引脚的至少一个测量装置，其中，该至少一个测量装置测定该传导构件的至少一个部分的电阻；以及传导性连接至该至少一个测量装置、及该多个感测引脚的各感测引脚的开关，其中，该开关选择性地在该至少一个测量装置的一测量装置、第一结构、与第二结构之间容许电连接，其中，该测量装置测定该传导构件介于该第一结构与该第二结构之间的一部分的电阻。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于格罗方德半导体公司，未经格罗方德半导体公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610118349.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
