[发明专利]形状测量装置、加工装置及形状测量装置的校正方法有效
| 申请号： | 201610111714.9 | 申请日： | 2016-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN105937886B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 市原浩一;高娜 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/245 | 分类号： | G01B11/245 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的一种实施方式提供一种形状测量装置，其通过将3个位移计配设成一列而成的检测仪对测量对象物进行扫描，并且对测量对象物的表面形状进行测量，该形状测量装置具备：获取机构，从3个位移计获取各自的测定值；间隙计算机构，根据3个位移计中的位于中间的位移计所测定的测定值和其他位移计所测定的测定值之差求出间隙数据；偏移量计算机构，计算出检测仪对校正用试样进行扫描而得到的间隙数据的平均值作为3个位移计的安装位置的偏移量：校正机构，用偏移量对检测仪对测量对象物进行扫描而得到的间隙数据进行修正，从而对位移计的位置偏移进行校正；及形状计算机构，根据用偏移量进行修正后的间隙数据计算出测量对象物的表面形状。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测量 装置 加工 校正 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形状测量装置，其使将3个位移计配设成一列而成的检测仪相对于测量对象物进行相对移动，并且对所述测量对象物的表面形状进行测量，所述形状测量装置的特征在于，具备：/n偏移量计算机构，根据所述检测仪相对于校正用试样进行相对移动而得到的数据计算出所述3个位移计的安装位置的偏移量；及/n校正机构，用所述偏移量对所述检测仪相对于所述测量对象物进行相对移动而得到的数据进行修正，从而对所述位移计的位置偏移进行校正；/n其中，所述的形状测量装置还具备：/n获取机构，从所述3个位移计获取各自的测定值；及/n间隙计算机构，根据所述3个位移计中的位于中间的位移计所测定的测定值和其他位移计所测定的测定值的均值之差求出间隙数据，/n所述偏移量计算机构计算出所述检测仪相对于校正用试样进行相对移动而得到的间隙数据在所述检测仪相对移动中移动方向上的平均值作为所述3个位移计的安装位置的偏移量，/n所述校正机构用所述偏移量对所述检测仪相对于所述测量对象物进行相对移动而得到的间隙数据进行修正，从而对所述位移计的位置偏移进行校正；/n其中，在所述检测仪相对于所述校正用试样进行相对移动时所述获取机构从所述3个位移计获取各自的测定值的间隔为所述校正用样式的移动方向上的表面粗糙度波形中所包含的最大空间频率周期的1/2以下。/n
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