[发明专利]一种加工航空领域金属构件基于CMP的机器人磨抛系统

摘要

本发明公开了一种加工航空领域金属构件基于CMP的机器人磨抛系统，包括六轴机器人、放置工件的工件夹、对需要抛光工件进行检测并三维重构的轮廓检测单元、带抛光垫的磨轮、安装磨轮的基座、以及主控制器，所述六轴机器人自由端部设有带伺服电机的电主轴，工件夹上方设有能向工件喷CMP抛光液的抛光液喷射装置，工件夹安装在所述电主轴上，所述主控制器控制轮廓检测单元、六轴机器人、电主轴、以及所有伺服电机，工件夹和带抛光垫的磨轮的位置还可以互换以适应不同尺寸工件的抛光，本发明的机器人磨削系统，效率高，加工一致性好，且不会对工件造成机械损伤、烧伤等普通磨削会产生的不利效果，不出现表面或亚表面的损伤，能加工出较完美的表面。

主权项

一种加工航空领域金属构件基于CMP的机器人磨抛系统，包括六轴机器人（1）、放置工件的工件夹（3）、对需要抛光工件进行检测并三维重构的轮廓检测单元（4）、带抛光垫（6）的磨轮（7）、安装磨轮（7）的基座（8）、以及主控制器，所述六轴机器人（1）自由端部设有带伺服电机的电主轴（2），其特征在于：所述工件夹（3）上方设有能向工件喷CMP抛光液的抛光液喷射装置（5），所述工件夹（3）安装在所述电主轴（2）上，所述主控制器控制轮廓检测单元（4）、六轴机器人（1）、电主轴（2）、以及所有伺服电机，所述抛光垫（6）和工件接触区构成局部抛光区，在抛光液喷射装置（5）喷出抛光液的作用下完成CMP抛光，被抛光工件在六轴机器人（1）带动下移动，完成整个工件的抛光，所述抛光垫（6）由微孔材料制成，其能够存储部分抛光液，以便化学反应能充分进行，在抛光自由曲面工件时，所述抛光垫（6）曲率大于自由曲面工件最大曲率，所述抛光液喷射装置（5）的喷头设有增加两个旋转方向自由度的控制器，在控制器的控制下使抛光液的喷射方向为抛光接触区部分工件的切向方向，并控制抛光液的流速。