[发明专利]一种PPT级超纯氨水的制备方法在审
| 申请号： | 201610086184.7 | 申请日： | 2016-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN105523570A | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 曹文明;吴国新;张海 | 申请（专利权）人： | 江苏达诺尔科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/02 | 分类号： | C01C1/02 |
| 代理公司： | 北京瑞思知识产权代理事务所(普通合伙) 11341 | 代理人： | 张建生 |
| 地址： | 215500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PPT级超纯氨水的制备方法，包括依次且连续进行的如下步骤：（1）汽化；（2）净化过滤；（3）树脂吸附；（4）洗涤；（5）水气分离；（6）多级吸收；（7）超滤。上述方法所得的超纯氨水中，大于等于0.5μm颗粒浓度小于3p/ml，大于等于0.2μm颗粒浓度小于30 p/ml，单项金属离子含量小于30ppt，实测小于20ppt。本发明一种PPT级超纯氨水的制备方法，工艺流程简单，容易实现，其先通过合理的除杂工艺，得到纯净的氨气，再通过超纯水多级吸收得到ppt级超纯氨水，且该制备方法所用设备少，易于操作，生产成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ppt 级超纯 氨水 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种PPT级超纯氨水的制备方法，其特征在于，包括依次且连续进行的如下步骤：（1）汽化：利用压缩机将液态氨从原料罐压送至蒸发器内利用热蒸汽蒸发成为氨气；（2）净化过滤：将步骤（1）中汽化后的氨气依次通过排水分离器和活性碳吸附器得到净化后的氨气；（3）树脂吸附：将步骤（2）中净化过滤后的氨气经过吸附树脂吸附除油处理；（4）洗涤：将经步骤（3）中树脂吸附后的氨气用超纯水和饱和氨水洗涤除杂；（5）水气分离：将步骤（4）中洗涤除杂后的氨气用水气分离器分离成水气和氨气；（6）多级吸收：将步骤（5）中水气分离后的氨气通过吸收塔，并用超纯水进行多级吸收，形成氨水；（7）超滤：将步骤（6）中得到的氨水进行超滤处理，得到所述PPT级超纯氨水。
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