[发明专利]固态图像传感器和包含固态图像传感器的图像拾取装置

摘要

本发明涉及固态图像传感器和包含固态图像传感器的图像拾取装置。固态图像传感器包括像素，每个像素包括：设在衬底中的第一和第二光电转换部，第二光电转换部具有低于第一光电转换部的灵敏度；设在第一和第二光电转换部之间的势垒区；设在衬底的光入射侧并且包含芯体和包层的波导；以及，设在波导与衬底之间的保护层。当在垂直于衬底的方向上看时，在像素区域的中心部分中的每个像素中，芯体的出射面的中心相对于势垒区的中心位于第一光电转换部侧。在芯体的出射面正下方的区域中的保护层的折射率分布的标准差在衬底的面内方向上为0.1或更小。

主权项

一种固态图像传感器，其特征在于，包括：设在像素区域中的像素，所述像素中的每一个包括：设在衬底中的第一光电转换部和第二光电转换部，第二光电转换部具有比第一光电转换部低的灵敏度；势垒区，设在第一光电转换部与第二光电转换部之间；波导，设在衬底的光入射侧并且包含芯体和包层；以及保护层，设在波导与衬底之间，其中，当在与衬底垂直的方向上看衬底的表面时，在设在像素区域的中心部分的每个像素中，芯体的出射面的中心相对于在衬底的表面处的势垒区的中心位于第一光电转换部侧，并且其中，在芯体的出射面正下方的区域中的保护层的折射率分布的标准差在衬底的面内方向上为0.1或更小。