[发明专利]热熔间隙测量装置、长晶装置及热熔间隙测量方法在审
| 申请号： | 201610081377.3 | 申请日： | 2016-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN106065492A | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 陈俊宏;蓝文杰;中西正美;李奇泽;施英汝;徐文庆 | 申请（专利权）人： | 环球晶圆股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种热熔间隙测量装置，用以测量热帷幕的底侧与坩埚中熔汤液面之间的间隙。热熔间隙测量装置包括第一导光棒，第一导光棒具有相对的第一顶部与第一底部。第一顶部曝露于热帷幕的内壁，而所述第一底部突出于所述热帷幕的底侧。影像撷取组件配置于热帷幕上方，用以撷取第一顶部的影像。此外，一种长晶装置以及热熔间隙测量的方法也被提及。 | ||
| 搜索关键词： | 间隙 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种热熔间隙测量装置，用以测量一热帷幕的底侧与一坩埚中一熔汤的液面之间的间隙，其特征在于，所述热熔间隙测量装置包括：一第一导光棒，安装于所述热帷幕的底侧，且具有相对的一第一顶部与一第一底部，其中所述第一顶部暴露于所述热帷幕的内壁，而所述第一底部突出于所述热帷幕的底侧；以及一影像撷取组件，配置于所述热帷幕上方，用以撷取所述第一顶部的影像。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于环球晶圆股份有限公司，未经环球晶圆股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610081377.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
