[发明专利]用于直拉单晶炉热场的加热器及使用方法有效
| 申请号： | 201610074730.5 | 申请日： | 2016-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN105586634B | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 潘金平;王伟棱;王飞尧;郑欢欣 | 申请（专利权）人： | 浙江海纳半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 金祺 |
| 地址： | 324300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于直拉单晶炉热场的加热器，包括加热器主体(5)；所述加热器主体(5)可翻转；所述加热器主体(5)的叶片端面上设置有加热器脚(6)；所述加热器主体(5)的叶片两端均设置有螺纹孔(7)；所述加热器脚(6)上相对于螺纹孔(7)设置有通孔(10)；所述加热器脚(6)通过螺钉经通孔(10)和螺纹孔(7)进行固定。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 直拉单晶炉热场 加热器 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于直拉单晶炉热场的加热器使用方法，其特征是：用于直拉单晶炉热场的加热器包括加热器主体(5)，所述加热器主体(5)可翻转；使用方法为将加热器主体(5)使用一定炉数后，加热器主体(5)的部位(3)和部位(4)形成一层硅和碳化硅的混合沉积层；将此加热器主体(5)进行翻转，转换原先带有沉积层的部位处于原部位(2)和部位(1)的温区范围；再次进行相同数量炉数后，再次翻转加热器主体(5)，以此循环翻转加热器主体(5)。
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