[发明专利]一种测量钢化玻璃表面应力的拉曼光谱仪及测量方法有效
| 申请号： | 201610066966.4 | 申请日： | 2016-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN105547543B | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 刘辉 | 申请（专利权）人： | 苏州精创光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01N21/65;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215334 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量钢化玻璃表面应力的拉曼光谱仪及测量方法，拉曼光谱仪包括光源、拉曼信号采集装置、拉曼光谱分析装置，拉曼信号采集装置包括沿光路依次设置的半透半反镜、微透镜阵列、聚焦透镜、成像光纤束、显微系统、位移扫描控制机构，待测样品位于显微系统后端的位移扫描控制机构上，显微系统将光源发射的光聚焦在待测样品上以产生拉曼信号；拉曼光谱分析装置包括半透半反镜后端依次设置的成像透镜、出射狭缝、光谱仪，由待测样品散射的拉曼信号经半透半反镜反射后，通过成像透镜、出射狭缝进入光谱仪进行光谱分析。本发明测量钢化玻璃表面应力的方法，测量工序简单，测量精度高，使本发明拉曼光谱仪和所述测量方法具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 钢化玻璃 表面 应力 光谱仪 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量钢化玻璃表面应力的拉曼光谱仪，包括光源、拉曼信号采集装置、拉曼光谱分析装置，其特征在于，所述的拉曼信号采集装置包括沿光路依次设置的半透半反镜、微透镜阵列、聚焦透镜、成像光纤束、显微系统、位移扫描控制机构，待测样品位于显微系统后端的位移扫描控制机构上，显微系统将光源发射的光聚焦在待测样品上以产生拉曼信号；所述的拉曼光谱分析装置包括半透半反镜后端依次设置的成像透镜、出射狭缝、光谱仪，由待测样品散射的拉曼信号经半透半反镜反射后，通过成像透镜、出射狭缝进入光谱仪进行光谱分析，所述的光源与半透半反镜之间依次设有整形透镜、入射狭缝、准直透镜，整形透镜与准直透镜同光轴设置，且整形透镜与准直透镜均设置在以入射狭缝为焦平面、焦点在入射狭缝的中心位置上，所述的光谱仪为多通道光纤光谱仪。
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