[发明专利]压印装置以及物品的制造方法有效

专利信息
申请号: 201610064697.8 申请日: 2016-01-29
公开(公告)号: CN105842982B 公开(公告)日: 2019-11-08
发明(设计)人: 三田裕;新井刚 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 代理人: 迟军
地址: 日本东京都*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种压印装置以及物品的制造方法。所述压印装置通过使用模具,对基板的投射区域上的压印材料形成图案,并且包括:供给单元,其具有各自被配置为排出所述压印材料的多个排出口,并且被配置为将所述压印材料供给至所述基板;以及控制单元,其被配置为控制所述供给单元,以将所述压印材料从所述多个排出口供给到所述投射区域上,其中,所述控制单元基于表示从所述多个排出口中的各个排出所述压印材料的历史的排出历史信息,而在所述多个排出口之中,确定要用于将所述压印材料供给至所述投射区域的排出口。
搜索关键词: 压印 装置 以及 物品 制造 方法
【主权项】:
1.一种压印装置,其通过使用模具,在基板的投射区域上形成压印材料的图案,所述压印装置包括:供给单元,其具有各自被配置为将压印材料作为液滴排出的多个排出口,并且被配置为将所述压印材料供给至所述基板;以及控制单元,其被配置为控制所述供给单元,以将所述压印材料从所述多个排出口供给到所述投射区域上,其中,所述多个排出口中的各个配设有控制元件,所述控制元件被配置为依照供给的信号值来控制要被作为液滴排出的压印材料的量,其中,所述控制单元被配置为:基于表示针对多个排出口中的各个已经将压印材料作为液滴排出的累计次数的排出历史信息,在所述多个排出口之中,选择要用于将所述压印材料供给至所述投射区域的排出口,以在多个排出口中优先使用与其他排出口相比具有更小累计次数的排出口,以及依照排出历史信息中的累计次数,调整要供给到所选择的各个排出口的控制元件的信号值,以将要作为液滴排出的压印材料的量设置为目标量。
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