[发明专利]一种电感扫描测头的测试装置及测试方法在审
| 申请号： | 201610057360.4 | 申请日： | 2016-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN105606014A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 陈艳华;梁斌;刘厚德;王学谦;李志恒 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01B7/008 | 分类号： | G01B7/008 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 杨洪龙 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电感扫描测头的测试装置及测试方法，测试装置包括扫描测头和微进给装置，所述微进给装置包括微分头、立柱、底板、平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件，所述立柱固定在所述底板上，所述微分头可转动地固定在所述立柱上，所述微分头可沿所述立柱上下移动，所述平面度调节部件用于调节所述底板的平面度，所述X方向调节部件和Y方向部件分别用于调节所述底板沿X方向运动和沿Y方向运动，所述微分头的头部用于对所述扫描测头的测量球施加不同的进给量。本发明结构简单，可以利用精度很高的微分头对扫描测头的单轴、平面和空间性能进行测试，测试方法简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电感 扫描 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种电感扫描测头的测试装置，包括扫描测头和微进给装置，其特征是，所述微进给装置包括微分头、立柱、底板、平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件，所述立柱固定在所述底板上，所述微分头可转动地固定在所述立柱上，所述微分头可沿所述立柱上下移动，所述平面度调节部件用于调节所述底板的平面度，所述X方向调节部件和Y方向部件分别用于调节所述底板沿X方向运动和沿Y方向运动，所述微分头的头部用于对所述扫描测头的测量球施加不同的进给量。
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