[发明专利]飞行时间测定型质量分析装置

摘要

本实施方式涉及在高吞吐量下可以进行试样的质量分析的TOF－MS。该TOF－MS具备使离子加速的加速部、检测加速后的离子到达的现象的检测器、基于离子的飞行时间进行试样的质量分析的分析部。检测器的第一结构包含MCP、倍增极及阳极。在第一结构中倍增极的电位设定为比MCP输出面高的电位。阳极配置于MCP和倍增极的中间位置或比该中间位置更靠近倍增极侧的位置。阳极具有多个开口，设定为比倍增极的电位高的电位。

主权项

1.一种飞行时间测定型质量分析装置，其特征在于，具备：加速部，其通过电场使从试样产生的离子加速；检测器，其设置于通过了所述加速部后的被加速的所述离子的飞行路径上，检测所述离子到达的现象；分析部，其基于到由所述检测器得到的所述现象的检测时刻为止的所述离子的飞行时间，进行所述试样的质量分析，所述检测器包含：微通道板，其为使对应于所述离子的到达而产生的电子倍增的微通道板，具有设置于所述离子所到达的位置的输入面、和与所述输入面相对的输出倍增了的所述电子的输出面；倍增极，其为相对于所述输出面而设置于所述输入面的相反侧，倍增从所述输出面输出的电子的倍增极，设定为比所述输出面的电位高的电位；阳极，其为设置于从所述倍增极至所述输出面及所述倍增极间的中间位置为止的空间内，收集通过所述倍增极倍增了的电子的阳极，具有使从所述输出面输出的电子向所述倍增极通过的开口，并且设定为比所述倍增极的电位高的电位，与所述微通道板的所述输出面相对配置的所述倍增极和所述阳极的电位差为100V～200V。