[发明专利]一种高效涂层石英坩埚的制作方法在审
| 申请号： | 201610040228.2 | 申请日： | 2016-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN106986553A | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 周勇;李卫;川上泉;寺西久広;占克文 | 申请（专利权）人： | 杭州晶鑫科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/23 | 分类号： | C03C17/23 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 | 代理人： | 尉伟敏,赵越剑 |
| 地址： | 311222 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效涂层石英坩埚的制作方法，以超高纯石英砂作为原料，通过球磨、混料搅拌制成料浆，采用喷涂或刷涂工艺覆盖在方形石英坩埚的内底面，再均匀的铺洒超高纯石英砂或超高纯多晶硅颗粒，制成一种高效涂层，在多晶硅铸锭过程中，诱发晶锭长晶，改善位错缺陷，提高晶锭光电转换效率，降低了产品生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 涂层 石英 坩埚 制作方法 | ||
【主权项】：
一种高效涂层石英坩埚的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)选取粒度0.2mm‑0.6mm的超高纯石英砂，加入超高纯石英砂重量10％‑40％的去离子水，放入球磨机中球磨，制成浆料；(2)将步骤(1)制备的浆料、去离子水、硅溶胶和有机陶瓷粘结剂混合，充分搅拌0.5‑2小时后，制成高效料浆；(3)将步骤(2)制备的高效料浆涂覆在方形石英坩埚的内底面，涂层厚度为0.1mm‑2mm；(4)将50g‑250g超高纯石英砂或超高纯多晶硅颗粒均匀的铺洒在高效料浆涂覆形成的涂层上，自然干燥1‑2小时后，放置到温度为80℃‑150℃的干燥炉中干燥1‑3小时得高效涂层石英坩埚。
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