[发明专利]一种高效涂层石英坩埚的制作方法

权利要求书

1.一种高效涂层石英坩埚的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)选取粒度0.2mm-0.6mm的超高纯石英砂，加入超高纯石英砂重量10％-40％的去离子水，放入球磨机中球磨，制成浆料；

(2)将步骤(1)制备的浆料、去离子水、硅溶胶和有机陶瓷粘结剂混合，充分搅拌0.5-2小时后，制成高效料浆；

(3)将步骤(2)制备的高效料浆涂覆在方形石英坩埚的内底面，涂层厚度为0.1mm-2mm；

(4)将50g-250g超高纯石英砂或超高纯多晶硅颗粒均匀的铺洒在高效料浆涂覆形成的涂层上，自然干燥1-2小时后，放置到温度为80℃-150℃的干燥炉中干燥1-3小时得高效涂层石英坩埚。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述超高纯石英砂的纯度≥99.9999％。

3.根据权利要求1或2所述的制作方法，其特征在于：步骤(1)中所述的粒度0.2mm-0.6mm的超高纯石英砂按重量百分比计由以下不同粒径颗粒组成：粒径大于500μm的10％-35％，粒径300μm-500μm的50％-70％，粒径小于300μm的10％-35％。

4.根据权利要求1或2所述的制作方法，其特征在于：步骤(1)中球磨后的浆料粒度在6μm-15μm。

5.根据权利要求1或2所述的制作方法，其特征在于：步骤(2)中所述的有机陶瓷粘结剂选自羧甲基纤维素、聚丙烯、聚乙烯中的一种或几种。

6.根据权利要求1或2所述的制作方法，其特征在于：步骤(1)制备的 浆料：去离子水：硅溶胶：有机陶瓷粘结剂的重量比＝(5-15):1：(3-10):(3-15)。

7.根据权利要求1或2所述的制作方法，其特征在于：步骤(4)中的超高纯石英砂的粒度范围为0.2mm-0.6mm，按重量百分比计由以下不同粒径颗粒组成：粒径大于300μm的5％-15％，粒径200μm-300μm的45％-60％，粒径小于200μm的10％-45％。

8.根据权利要求1或2所述的制作方法，其特征在于：步骤(4)中的超高纯多晶硅颗粒的粒度范围为0.2mm-2.5mm，按重量百分比计由以下不同粒径颗粒组成：粒径大于2mm的5％-10％，粒径0.5mm-2mm的70％-80％，粒径小于0.5mm的10％-15％。

9.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于：超高纯多晶硅颗粒的纯度为99.999999％。