[发明专利]罐开关以及监测流率的方法在审
| 申请号： | 201610035361.9 | 申请日： | 2016-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN105807799A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | J·L·谭;C·J·S·尧 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 德国瑙伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 提供了一种用于半导体测试系统的罐开关，所述罐开关包括集管，所述集管包括第一输入管、第二输入管和输出管，其中，所述输入管中的每个构造成能够连接至相应的流体罐，并且所述输出管包括输出端，该输出端构造成能够连接至测试用处理装置；所述输入管中的每个分别包括相应控制阀；流量传感器于所述输出端之前构造在所述集管上；所述流量传感器构造成能够提供表示流向所述输出端的流体的流率的测量信号并且能够将该信号发送给控制单元；并且所述控制阀中的每个构造成能够接收控制信号并能够响应于所接收的控制信号而打开或关闭。 | ||
| 搜索关键词： | 开关 以及 监测 方法 | ||
【主权项】：
一种用于半导体测试系统的罐开关，所述罐开关包括：集管，所述集管包括第一输入管、第二输入管和输出管，其中，输入管中的每个构造成能够连接至相应的流体罐，并且所述输出管包括输出端，所述输出端构造成能够连接至测试用处理装置，所述输入管中的每个分别包括相应的控制阀；流量传感器于所述输出端之前构造在所述集管上；所述流量传感器构造成能够提供表示流向所述输出端的流体的流率的测量信号并能够将所述测量信号发送给控制单元；并且所述控制阀中的每个构造成能够接收控制信号并能够响应于所接收的控制信号而打开或关闭。
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