[发明专利]一种石英坩埚成品的裂纹缺陷检验方法有效
| 申请号： | 201610024316.3 | 申请日： | 2016-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN106970081B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 周勇;李卫;川上泉;寺西久広;占克文 | 申请（专利权）人： | 杭州大和江东新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏;赵越剑 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英坩埚成品的裂纹缺陷检验方法，将干燥好的石英坩埚进行表面吹尘处理后，用装有纯水的喷壶，对坩埚检验区域进行喷水，同时用500W的碘钨灯进行透光照射来检查发现坩埚中存在的裂纹。本发明能准确发现细微裂纹，操作简单快捷，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 坩埚 成品 裂纹 缺陷 检验 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石英坩埚成品的裂纹缺陷检验方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将石英坩埚成品干燥处理至石英坩埚成品的含水率≤0.1％；(2)将干燥处理后的石英坩埚成品放置于检查台上，用气枪吹尘干净；(3)用装有纯水的喷壶对吹尘处理后的石英坩埚成品的拟检测区域喷水以充分润湿拟检测区域，同时在石英坩埚成品喷水面的背面用500W碘钨灯进行透光照射，用目视法检查喷水面是否有裂纹；(4)移动喷壶及碘钨灯将整个石英坩埚成品的内外表面的都检查一遍。
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